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第225章 以最强力的方式回应(1 / 2)

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第225章以最强力的方式回应

随著徐铭的话音落下,丁顺安院士先是沉思,约摸过去小半分钟时间,突然像是想到了什么,猛地抬起头脸上浮现出欣喜表情。

「好办法。」

「让多路雷射同时激发,这样一来的话,所产生的稳定光源功率定会提升。」

「达到商用的250瓦也就不是问题。」

他对于这次实验验证的结果,无疑感到很高兴,既证明了徐铭提出的设想可行,又让大家这几个月以来的努力没有白费。但碍于目前国内正遭遇的困境,他太过想要赶紧解决当下局面。

所以才会对稳定极紫外光源的功率感到遗憾。

毕竟实验功率,只有商用数值的五分之一大小,想让其增长的话,仍需投入大量时间研究。

相当于又延长了国产高端光刻机的研发周期。

但他万万没有想到,这个担忧的问题,在徐铭口中竟显得如此简单。

仿佛随时就能解决。

关键他在脑海中进行研判后,确定可行性很高,若采用徐铭的方法,就算达不到商用的250瓦,也绝对会比现在的数值高出很多。

无疑又是一个巨大的惊喜。

快速回过神来,他有些控制不住情绪,下秒主动向徐铭询问确认。

「徐总师。」

「是不是你早就想过这个问题了?」

主要从得到验证数据,到徐铭给出解决方案,前后连两分钟都不到,实在让人无法相信,这是临时刚想出来的光源功率应对方法。

而丁顺安院士的这句话,也成功引起了,现场其他人的好奇目光。

纷纷凝聚过来视线。

连贺鹏涛院士也笑著附和道:「现在啊,我从徐总师口中听到什么都不奇怪「」

春城光机所研究多少年的核心光源系统,在徐铭这里只用几个月便验证成功,让他不免有一种先前都在研究什么的羞愧感,若早换作徐铭来负责,恐怕现在国产高端光刻机技术早就领先全球喽。

也不至于搞得像现在这么被动。

徐铭听完两人的话,看向大家的目光,嘴角浮现著淡淡笑容如实回答。

「我确实考虑过光源功率问题,只是因为多环结构的光源靶盘,设计研发难度会比正常高出不少,为了尽快验证这项理论设想,才暂时放弃了极紫外光源的功率。」

「有你这句话,我放心多了。」丁顺安脸上堆满笑容连连回答。

既然此方法早就在徐铭计划里,说明是经过比较周密严谨的推导论证,如此成功率也就有了保障,必然能够解决稳定光源功率问题。

当高端光刻机最核心的光源系统,其技术被成功攻克并优化效率,那么后续其它光刻机部分的研究,效率上就会畅快许多飞速进展。

想到用不了多久,首台国产极紫外光刻机就能问世。

其心情可想而知。

「说实话我从来没有想过,咱们的高端光刻机,能研发的这么顺利,看来我们对徐总师你的了解,远远不如余院长知道的多啊!」

「幸亏余院长选了徐铭担任总设计师,否则研发进度肯定不会有现在快。」丁顺安听到身旁贺鹏涛的感慨,当即再次接过话茬附和一句。

徐铭则在承受了两位院士的轮番称赞后,只好战术性轻咳两声,让大家停止这个话题的讨论,接著重新把交流内容转到正事上面。

「现在我们才完成了极紫外光源挑战,想要在海外阿斯麦公司之前,推出7纳米工艺极紫外光刻机的话,还需解决不少的问题。」

几乎是这番话从口中讲出的瞬间,面前贺鹏涛和丁顺安两位院士,顿时神情有些怔住下意识轻声低喃。

「比阿斯麦更先研发吗?」

「我们的光刻机,真能直接升级到7纳米工艺?」

哪怕后面的潘耀等研究员,眼中都闪出精光,毫不掩饰流露的向往之色。

作为光刻机领域科研人员,对阿斯麦的大名,自然是如雷贯耳。

代表著现今人类光刻机技术的巅峰。

早在前段时间,阿斯麦就曾表示,正在研发新一代极紫外光刻机。

能够用于7纳米甚至5纳米晶片工艺的光刻制造。

如果国内这边,真能在阿斯麦公司前边,率先造出极紫外光刻机,那么便代表所拥有的技术,已经从最开始的落后变为领先存在。

尤其国内这边采用的极紫外光源,要比轰击锡滴方式转化率更高寿命更长。

对在场所有人来说,提起国产光刻机,脑海中浮现出来的只有那台,90纳米工艺的设备,很难想像技术直接过渡到7纳米会是一种怎样的体验。可以说整个人像是打了几针鸡血亢奋的不行。

「不试试怎么能知道到底行不行。」徐铭笑著说出这句话作为回答。

立刻便得到了大家的认可。

「徐总师讲的没错,谁说咱们就不行。」

「要是真能看到,国产光刻机领先全世界,我这个年纪也算没有遗憾了。」

「我都想住在实验室了。」

就这样。

接下来的时间,众人又继续借助演示装置实验,尽可能多搜集光源的各项数据。

为下一次光源功率问题实验做准备。

另外值得一提的是,徐铭也没有食言,第一时间把实验结果告诉了材料院的张彦昂教授,并提到重新设计多环结构光源靶盘的任务。

对此张彦昂无比高兴,当即保证会尽快完成。

而针对掌握50瓦功率稳定极紫外光源,在上报给科学院方面后,经过商议决定向外界宣布此项研究成果。

让海外方面知道,想用一份文件限制,来迫使东方妥协以此延缓科技发展速度,是不可能成功的事情,相反还会加快半导体先进技术国产化。

「不愧是咱们国家,多少年都难得一见的天才,才几个月时间就做出了这么大的成果。」

「果真没有辜负大家对他的期望。」

科学院总部临时召开的小型会议上,院长余高远难得在正式场合,不控制自己心底的喜悦连连夸奖。

纵使知道徐铭的真实情况,在国家许多重点科研项目上有著重大贡献。

但接到微电子装备那边的消息后,还是吓了一跳。

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