第413章 计算之光（1 / 2）
荷兰，维尔德霍芬。
这里是全球半导体设备霸主ASL的总部所在地。这座看似普通的欧洲小镇，掌握着人类精密制造的最高机密。
林远和王海冰一行人，在细雨中抵达了ASL的研发中心。
迎接他们的，是ASL的全球总裁温彼得，以及公司的技术灵魂、首席技术官马丁·范登布林克。
会议室没有任何多余的装饰，只有一块巨大的白板和一台投影仪。
“林先生，”温彼得开门见山，表情严肃，“在开始之前，我必须重申：受限于《瓦森纳协定》和美国商务部的最新出口管制规则，我们无法向中国出售、租赁或转让任何涉及EUV技术的设备、零部件及图纸。”
“哪怕一颗螺丝钉也不行。”
“我知道。”林远平静地坐下，“我也没打算买EUV。”
“那您来做什么？”马丁疑惑道，“现在的先进制程在7n以下，没有EUV几乎是不可能的。单纯靠dUV深紫外的多重曝光，良率会低到让你破产。”
“物理上是不可能。”林远指了指自己的太阳穴，“但数学上，是可能的。”
“我来，是想和你们谈谈计算光刻。”
林远示意王海冰打开电脑，将一份名为《基于AI加速的逆向光刻技术（ILt）解决方案》的ppt投射在屏幕上。
“马丁先生，您是光刻专家。您应该知道，光刻机的本质，是一个光学成像系统。”
“当光线穿过掩膜版投射到硅片上时，由于光的衍射特性，图形会发生畸变。直角变圆角，线条变粗细。”
“为了修正这种畸变，我们传统上使用opc光学邻近效应修正技术。通过在掩膜版上增加一些‘亚分辨率辅助图形来补偿。”
“但是，”林远话锋一转，“随着制程进入7n，传统的opc已经失效了。掩膜版的图形复杂度呈指数级上升，计算量大到无法想象。”
“现在，唯一的解决方案是逆向光刻技术。”
“不再是修正图形，而是根据目标图形，反向计算出完美的掩膜版形状。”
马丁点了点头，神色凝重：“理论上是这样。但ILt的计算量是opc的100倍。处理一颗满光罩的芯片，需要数万个cpU核跑上几个月。这在工程上是不可接受的。”
“如果……”林远看着马丁，“我能把计算时间，缩短到10小时呢？”
“不可能！”马丁脱口而出。
“没有什么不可能。”林远切换了一张架构图。
“1.算力暴力破解：我们拥有启明云和青川智算中心。我们不缺cpU，也不缺GpU。我们可以调用10万张AI加速卡，进行大规模并行计算。”
“2.AI模型加速：汪韬的团队训练了一个专门的光刻成像神经网络。它不需要像传统算法那样去解繁琐的麦克斯韦方程组。它只需要看一眼电路图，就能预测出光的衍射行为。”
“我们将物理建模与深度学习结合，速度提升了500倍。”
“3.端到端协同：我们的昆吾EdA软件，可以直接输出适合ILt计算的数据格式，无需中间转换。”
林远抛出了他的筹码：
“温彼得先生，马丁先生。”
“ASL现在面临的问题是：EUV产能不足，且极其昂贵；dUV虽然成熟，但面临技术天花板。”
“如果你们愿意合作，我们将向ASL开放这套AI光刻加速引擎。”
“你们提供光源模型数据和透镜像差数据，我们提供算力和算法。”
“我们联手，用软件压榨出dUV光刻机的物理极限。让193n波长的dUV，在不使用EUV的情况下，稳定生产出7n，甚至5n的芯片！”
温彼得和马丁对视了一眼。
他们看懂了林远的意图。
这是一笔技术置换。
中国出算力，荷兰出光学硬件。
如果成功，ASL将能通过软件升级，让存量的数千台dUV光刻机焕发第二春，这是一个价值数百亿美金的服务市场。
而且，这不涉及实体设备的出口，处于制裁的灰色地带。
“我们需要验证。”马丁谨慎地说道，“口说无凭。”
“没问题。”林远拿出一个加密硬盘，“这里面是我们用AI生成的，针对ASLNxt:2000i机型的测试掩膜版数据。你们可以去实验室跑一下。”
ASL光刻实验室。
这里是全球最洁净的地方，空气洁净度达到ISocss1标准。
工程师将林远提供的数据导入光刻机的控制系统。
激光源启动，波长193n的深紫外光，穿过复杂得如同外星迷宫般的掩膜版，投射到涂满光刻胶的晶圆上。
显影，定影，电子显微镜扫描。
当图像出现在屏幕上时，马丁倒吸了一口凉气。
屏幕上，是一排排整齐的鳍式场效应晶体管结构。
线条边缘锐利，关键尺寸（cd）均一性极佳。
“线宽……38纳米单次曝光极限。”马丁喃喃自语，“这已经逼近了瑞利判据的物理极限。”
“如果配合SAqp自对准四重曝光技术，”旁边的ASL首席科学家补充道，“理论上，我们可以把这就距缩小到10纳米以下。也就是7n制程。”
“但这需要极高的套刻精度。”
“他们的算法里包含了非线性套刻补偿模型。”马丁指着数据日志，“你看，他们在计算掩膜版时，已经预判了晶圆在多次曝光过程中的热膨胀和机械形变，并提前做了反向补偿。”
“这是上帝视角。”
马丁转过身，看着站在玻璃窗外的林远，眼中没有了最初的怀疑，只剩下纯粹的技术敬畏。
他知道，ASL引以为傲的光学壁垒，被中国人的算力暴力给凿穿了。
回到会议室，谈判进入了实质性阶段。
这一次，温彼得的态度发生了180度转弯。
“林先生，测试结果令人印象深刻。我们原则上同意成立联合实验室。”
“但是，关于合作模式……”
“双向授权。”林远直接给出了方案。
“1.联合研发实体：在新加坡成立启明-ASL计算光刻联合实验室。该实验室为独立法人，不受美国法律管辖。”
“2.数据不出境：ASL的光源核心数据，只能在新加坡的离线服务器上使用，不得传输回中国大陆。同样，我们的AI模型核心代码，也只在实验室内运行。”
“3.商业分成：开发出的女娲光刻软件，ASL拥有海外独家销售权，启明联盟拥有中国区独家使用权。销售利润五五分成。”
“4.硬件支持：”林远盯着温彼得，“这是最关键的。我需要ASL承诺，优先保障启明联盟成员企业如中芯、华虹的dUV光刻机零部件供应和维护服务。并且，在合规范围内，向我们出售最高配置的浸没式dUV光刻机（Nxt:2050i）。”
温彼得沉思了片刻。