第401章 光刻之盟(2 / 2)
温彼得闭上眼睛,在脑海中飞快地权衡利弊。拒绝,意味着失去光子芯片的未来,而且中国人可能会自己摸索出这套算法,虽然慢一点,但迟早会做出来。同意,不仅能获得光子技术的门票,还能通过卖软件服务和老旧的DUV设备,在中国市场再赚一笔巨款。
“……成交。”
温彼得睁开眼,做出了决定:“但是,我有两个条件。第一,这个实验室注册在新加坡,数据不出境。第二,ASML拥有这套系统的海外独家销售权。”
“没问题。”林远笑了。
他要的本来就不是海外市场,他要的是能不能造出来。
……
协议签署后,代号为女娲的项目在新加坡地下的数据中心秘密启动。女娲炼石补天,他们要修补的,是光刻技术的物理缺陷。
这不仅仅是写代码,这是在用数学挑战物理学的极限。
汪韬带领的算法团队,和汉斯带领的工业软件团队,在这里进行了为期三个月的地狱式攻关。
最先横亘在他们面前的,是计算量的爆炸。
传统的OPC是基于规则的,比如在直角处加个耳朵来修正。而他们要做的逆向光刻,是将掩膜版设计看作一个反向成像的数学优化问题。这好比知道了影子的形状,知道了光的传播规律,要反推出挡光板长什么样。这是一个庞大的非凸优化问题,计算量是传统的百倍。
汪韬没有选择硬算。他训练了一个巨大的光刻成像神经网络,将ASML提供的数亿张掩膜版最终成像的对应图片喂给了AI。
于是,神奇的一幕发生了。AI学会了光的脾气。它不再笨拙地去解复杂的麦克斯韦方程组,而是像一个经验丰富的老工匠,只需要看一眼电路图,就能凭借直觉,直接生成最优的掩膜版图形。计算速度,瞬间提升了五百倍。
紧接着是多重曝光带来的对准误差难题。
要在DUV上做7n,需要将一层电路拆分成四张掩膜版,曝光四次。这四次曝光,每一次的对准误差都必须控制在2纳米以内。稍有偏差,芯片就报废。
这时候,汉斯的德国团队拿出了看家本领——虚拟量测技术。
他们利用昆吾平台收集的机台传感器数据,实时预测每一次曝光时的晶圆热膨胀和机械微震动。然后在下一次曝光时,通过调整光刻机的透镜参数,进行前馈补偿。这就像是在射击移动靶,还没开枪,就已经预判了靶子的移动轨迹,并提前修正了枪口。
三个月后,江州,江南之芯集团晶圆厂。
一台老旧的ASMLNXT:1980Di光刻机正安静地躺在恒温恒湿的净化车间里。今天,它的灵魂被替换了。
它被刷入了女娲系统生成的全新控制参数,光路系统中装载了一套形状怪异、如同外星文字般的复杂掩膜版。
“开始曝光。”
光源亮起,紫色的激光束穿透透镜,轰击在硅片上。四次曝光,精准套刻。显影,刻蚀,清洗……
当电子显微镜的图像投射到大屏幕上时,全场沸腾了。
屏幕上,是一排排整齐、清晰、边缘锐利的晶体管栅极。王海冰颤抖着手,操作测量工具,拉出了两条线。
线宽:7.2纳米。
成功了!
利用一台原本只能做28n的设备,通过极致的软件算法修正和多重曝光技术,他们硬生生地造出了7n制程的晶体管!
这不仅是技术的胜利,更是对封锁最响亮的耳光。你封锁了EUV?没关系。我用DUV,加上我的算法,照样能造出高端芯片!
女娲系统的成功虽然是在绝密状态下进行的,但成果很快显现。代号启明-II的7n手机芯片流片成功,性能与台积电EUV工艺的产品差距不到10%,而良率被AI算法拉高后,成本极具竞争力。
消息传出,全球半导体行业震动。ASML股价大涨,市场认为其DUV光刻机将迎来第二春。而美国商务部则陷入了深深的自我怀疑——禁了EUV,却没能禁住7n,难道要连DUV也禁了?
林远并没有停下脚步。他知道,7n只是权宜之计,真正的决战还是在光子芯片。通过这次合作,ASML的技术团队已经深度介入了光子芯片的研发,有了他们在精密机械上的积累,那个未来的梦想正在加速变成现实。
然而,就在林远以为一切都在掌控之中时,江钢的工业大脑却突然发出了一次红色的最高级安全警报。
“警报!检测到核心生产数据异常外泄!”
深夜,林远冲进指挥中心。屏幕上,那个汪韬亲手部署的声呐系统正在疯狂闪烁。
“怎么回事?”林远厉声问道,“不是已经做了物理隔离吗?”
“是物理隔离了。”负责安全的周教授满头大汗,指着屏幕上的波形图,“但是,数据是通过侧信道泄露的!”
“有人利用了我们采购的那批工业传感器!那些是西门子的原装货,但在它们的微控制器里,被植入了一个极其隐蔽的硬件木马。”
“这个木马不会联网,它利用的是电流!”周教授的声音有些发颤,“它通过调节传感器电源线的电流波动,将数据调制成摩斯密码般的微弱电波,通过电线发射出去!”
“而接收方……”周教授指着信号追踪图,“就在江钢厂区外,三公里处的一个废弃变电站里!”
西门子?汉斯?
林远的心猛地一沉。难道这位他最信任的德国盟友也背叛了他?
不,不对。汉斯如果是间谍,他没必要带给他那么核心的底层协议。
那么,是谁能在西门子的原装供应链里动手脚,还能在江钢附近建立接收站?
这种能力,只有CIA。
他们没有放弃。在网络攻击失败后,他们启动了更传统,也更致命的物理渗透。他们将间谍工具直接焊死在了工业设备的神经末梢里。
林远看着屏幕,眼中闪过一丝狠厉。
“抓人。”
他拿起了电话,拨通了张将军的号码,声音冰冷如铁。
“首长,鱼进网了。”
“收网吧。”